HITACHI掃描電鏡特點：
*高分辨成像
日立的高亮度電子源可保證了即使在低著陸電壓下，也可獲得高分辨的圖像。
高襯度的低加速電壓背散射圖像
3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。
快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)*
由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結構圖像。
自動化功能*
EM Flow Creator 允許客戶創建連續圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設置放大倍率、移動樣品位置、調節焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經過調試和確認后，該程序便可以在每次調用時自動獲得高質量、重現性好的圖像數據。
靈活的用戶界面
原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實現快速的多信號觀測與采集。
